三年如白驹过隙，1100多个日日夜夜里，一支平均年龄不到35岁的中国科研团队，走完了发达国家15年才走完的路，使得国内主流的集成电路生产线上首次出现了国产核心制造装备。9月28日，芯片制造六大装备中的刻蚀机和离子注入机的采购合同在北京签订，这标志着国产100纳米制造装备初步实现了产业化。这项重大的技术突破背后，既有科研人员的呕心沥血、苦辣酸甜，也有科研体制前所未有的改革创新。

1、 三年建起研发基地

2003年12月，100纳米离子注入机研发课题组从长沙调入北京，开始项目攻关。“我们刚来的时候，通州这片基地还是一片农田。6个月后，我们建起了1.4万平方米的厂房。”100纳米离子注入机项目负责人唐景庭说。三年后，原来的不毛之地建起了107亩的生产研发制造基地。

100纳米离子注入机项目是国家“863”重大专项，跨越技术水平近五代，国内没有可参考的任何资料和机型，设备的复杂程度和技术难度前所未有。科研人员们夜以继日地工作，没有休息日，每周工作78.5小时，形成了215万字的研究报告。近三年的艰苦攻关终于突破了一系列关键技术，打破了国外尖端技术的封锁。

设备在线测试期间，由于调试时间紧，调试组的技术人员每天分三班进行不停机调试，反复进行各种测试。渴了，喝一杯凉水；累了，倒在换衣间和衣而睡。最后，现场调试记录堆起来有两三尺高，为设备提供了详细的数据。

2、科研人员舍家干科研

“我们可以说是背井离乡，很多人是砸了铁饭碗来北京搞科研。”唐景庭说。42人的科研团队刚从长沙来京时，条件极其艰苦，唐景庭率领科研队员住在翠微路的招待所里，6个人挤一个房间，在租用的写字楼中进行科研。但更难的是为了科研抛家离子，这群年轻人告别了依依不舍的妻子和恋人，有些人还告别了幼子和年迈的双亲。

离子源专家戴习毛得知父亲病重后，因为忙于长寿命离子源的研制，没能抽空回家看望父亲。他原本想离子源研制成功后，让父亲分享成功的喜悦。可正当离子源技术攻关处于最紧张的时刻，父亲却在老家病故了。噩耗传来，平日个性刚硬的汉子泣不成声。

市场开拓员工文超来京前在长沙找了个女朋友，两人情投意合。女朋友研究生毕业后，希望他能放弃项目攻关回长沙成家、发展。因为对工作的眷念，他几经掂量后放弃了。转眼两年过去了，他现在还是孤身一人。

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